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真空科技
200611 (19:2期)
真空科技
Journal of Taiwan Vacuum Society
200611 (19:2期)期所有篇
Investigation of optical mechanisms for silicon nanostructure embedded in silicon nitride grown by laser assistance
濺鍍碳化鈦擴散阻礙薄膜在銅製程之應用
非晶質Ta-Ni薄膜製備與銅金屬化製程整合
Electrical Characteristic and Microstructure of Ternary Alloy TaxCoyNz Thin Films Deposited by Reactive Sputtering
自我鈍化型銅銦合金薄膜之固溶特性及電性之研究
沈積溫度對銅銦硒薄膜顯微組織之影響
氧化銦鋅（IZO）非晶質薄膜擴散阻礙特性與銅製程整合
彩色光阻熱脫附行為
高穩定性長波長雪崩型二極體元件之製作及特性研究
鈣離子延伸式閘極場效電晶體之研製與應用
Rapid Thermal Annealing of Ta-N Thin Films and Its Effects on Phase Transition and Electrical Behaviors
偏壓輔助磁控濺鍍共沉積銅錫介金屬薄膜負極材料及電化學特性之研究
上發光型有機發光二極體之電極研究
Study on the Hysteresis Effect of Sodium Ion Sensing Based on the Extended Gate Field Effect Transistor
Pulsed laser deposition of AIN/GaN superlattices
不同製程溫度對RF-CBE成長InN薄膜之影響
熱處理溫度對氧化鋅薄膜結構與光學特性之影響
退火處理與鋁攙雜濃度對於氧化鋅薄膜光電特性的影響
透明導電ITO薄膜輻射損傷之特性分析
不同鍍膜溫度對透明導電鋅鎵氧化物薄膜之光電性質研究
4×4 ZnSSeTe/ZnSe/GaAs PIN Photodiode Array
反應式射頻非平衡磁控濺鍍沉積氮化鈦薄膜製程之研究
奈米TiO2粒子應用於染料敏化太陽能電池電極製作之研究
Study of the Immobilized Papain Based on the Extended Gate Field Effect Transistor
藍克賽基板上成長氧化鋅薄膜
隔離層對有機發光二極體漏電流之影響
濺鍍製程參數與退火溫度對摻鈧氧化鋅薄膜性質之影響
以溶膠－凝膠法製備鈦酸鋇薄膜作為氫離子感應場效電晶體之研究
高密度電漿化學氣相沉積法成長含氧氮化矽作為氫離子感應膜之研究
無機多層鍍膜在可撓式有機顯示器之構裝應用
創新性無電鍍沉積超薄鈷基阻障層在銅金屬化之應用
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