彩色光阻熱脫附行為

將真空系統、加熱基板、殘氣分析儀設計組裝熱脫附機台進行彩色光阻熱脫附實驗。彩色濾光片熱脫附實驗中，採用彩色濾光片為未鍍上透明導電膜的濾光片，量測荷質比1-100分別有幾個明顯脫附訊號70°C、185°C、458°C、70°C脫附訊號分佈的荷質比範圍1-100都可發現其蹤跡，脫附訊號最強的前三個荷質比依序為18、44、28，依質量推測為荷質比18為水氣、荷質比44、28為碳氫化合物，199°C脫附訊號分佈於荷質比範圍25-85可找到較明顯脫附訊號，位於脫附訊號最強的前三個荷質比順序為41、43、73，於458°C脫附訊號的荷質比分布範圍1-100，脫附訊號最強的前三個荷質比排列為18、44、17。透明導電膜在300°C以上做退火可增加其導電性，但彩色光阻會因熱能產生脫附行為，使其脫附粒子擴散至透明導電膜層，造成導電率及透光率的下降。