熱處理溫度對氧化鋅薄膜結構與光學特性之影響

本研究以溶膠凝膠法製備高指向性之氧化鋅薄膜於矽晶圓(100)與康寧7059玻璃基材上，薄膜結構與表面形貌主要以XRD、SEM與AFM等分析儀器量測得知。另外，以UV-VIS光譜、橢圓偏光儀及光激發螢光光譜儀（PL）測量薄膜之光學性質。由實驗結果得知，於750°C退火時，可驅使薄膜沿基材c軸為主要成長方向且擁有較佳的晶體結構。此外薄膜晶粒尺寸隨著熱處理溫度增加而增加，在750°C退火時，晶粒尺寸約為55nm；而光激發螢光光譜中亦能發現紫外光與可見光譜線的強度比值變化；不同熱處理溫度之薄膜於可見光區皆具有80%以上光穿透性。綜合實驗結果得知，熱處理溫度對氧化鋅薄膜的結構與光電特性有顯著之影響，而適當的熱處理溫度能夠有效的提昇薄膜結晶品質與其特性。