無機多層鍍膜在可撓式有機顯示器之構裝應用

本實驗利用電漿輔助化學氣相沈積系統（PECVD），於80°C之下，在塑膠基板上沈積水氣與氧氣阻障膜。在本文中，我們採用氧化矽與氮化矽薄膜，重複堆疊於聚碳酸酯（PC）基板上。利用氬氣（Ar）電漿對塑膠基板之前處理，有效的改善無機膜與基板間之附著性，經Ar氣電漿處理60秒後，薄膜附著性提升至約10 N/mm2。藉由調整結構中各層無機膜（氧化矽/氮化矽）沉積之功率，來調變薄膜內應力，除了有效的降低水氧氣透過率，亦能同時兼具可撓性。最後在塑膠基材上重複堆疊氧化矽/氮化矽之多層結構，其可見光穿透率可達87%以上。由鈣測試法得知，在25°C、相對溼度40%之下，水氣透過率可由25 g/m2/day降至3.12×10-6 g/m2/day，經5000次撓曲測試後，水氣透過率約為3.54×10-5 g/m2/day。