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CTIMES:零組件雜誌
202608 (417期)
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篇名
先進半導體製程虛擬填充技術進化,當虛擬填充變聰明
中文摘要
良率決定晶圓製造成本與競爭力,而提升良率已從製程控制延伸至實體設計最佳化。透過智慧化Dummy Fill與EDA演算法協同優化,不僅能兼顧CMP製程需求,更可降低寄生效應、提升晶片效能,為先進製程建立更高的製造優勢。
起訖頁
88-90
刊名
CTIMES:零組件雜誌
期數
202608 (417期)
出版單位
CTIMES(遠播資訊股份有限公司)
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模擬如何大幅強化汽車電子建模
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實現ATE系統可擴充式LCR量測,當虛擬填充變聰明
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