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篇名
RAM在半導體製造設備管理的應用
並列篇名
The Application of RAM on Semiconductor Manufacturing Equipment Management
作者 許進發
中文摘要
日前拜讀中華民國品質學會102年7月號49卷7期,由劉觀生先生所撰寫的”RAMS的市場溝通與應用領域介紹”一文,喚起筆者於2004年擔任製造部資深經理職務時,以SEMI E10-96(RAM)為理論基礎,主導開發的一套設備管理資訊系統,想藉這個機會將整個專案的執行過程和心得與讀者分享。就SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)組織而言,其建置E10標準的動機,是想在半導體製造環境下,提供衡量設備RAM的標準,建立設備製造商和使用者之間的溝通平台。雖然如此,該標準對設備使用者而言,亦是非常務實的設備績效管理工具。
起訖頁 14-17
刊名 品質月刊  
期數 201310 (49:10期)
出版單位 中華民國品質學會
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該期刊-下一篇 淺談稽核品質
 

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