新型真空計校正系統之研究

本研究係建立新型真空計校正系統並分析其穩定性。此系統設計考量為均匀氣體分佈與待測真空計之幾何位置等因素，其操作程序依據真空計直接比對法，校正範圍為103至10-6 Torr。系統評估作業依不同工作壓力範圍，利用電容真空計、旋轉轉子黏滯性真空計及熱陰極離子真空計，估算其系統不確定度（重複性）。觀察數據顯示系統背景壓力達1×10-8 Torr，系統之不確定度在高真空範圍在0.6%以下、中度真空為1×10-5 Torr以下，乃至粗略真空1×10-2 Torr以下。本研究指出此系統可有效地執行超高真空範圍以外之真空計校正作業。