五項真空學理實驗系統之建立與測試

設計一套真空系統做A.抽氣時間對腔體壓力、B.利用壓力回昇法、氦氣測漏儀計算腔體漏氣率、C.固定氣流通量,氣導對腔體壓力D.改變氣流通量對腔體壓力、E.渦輪分子幫浦轉速對腔體壓力等五項真空實驗，比較實驗數據結果與真空理論的關係。在A實驗中可明顯觀察出水氣含量對壓力造成的影響。在B實驗中採用壓力回昇法與氦氣測漏儀比較兩者量測值結果比較。在C實驗中，通入定量的氮氣，改變閥門圈數以氣導為變數，觀察出管路兩端的壓力差變化。在D實驗中，改變通入氣體量，觀察出氣導與壓力的變化。在E實驗中，固定氣流通量下，藉由變更渦輪分子幫浦轉速改變幫浦抽氣速率，觀察其壓力的變化。由本真空系統與設計之實驗觀察出實際量測值與理論值之關係。