台灣深耕中的乾式真空邦浦技術

光電與半導體產業為政府推動兩兆雙星計劃之重點產業，依據工研院IEK-ITIS計畫統計，2004年國內半導體產業產值將可超越兆元，而包括平面顯示器在內的光電產業產值也可望突破8仟億元，但令人訝異的是全球第四的半導體產業和即將超越韓國成為第一大平面顯示器生產地的台灣，製程設備中重要組件之一的真空邦浦市場卻幾乎都由歐、美、日等國壟斷，不過值得欣慰的是國內於五年前東元電機（現托爾真空）自工研院機械所技術轉移開發出第一套多段魯式乾式真空邦浦，宣告台灣突破先進國家掌握之關鍵技術，跨足技術門檻高的乾式真空邦浦領域。