表面鍍層物質之結構及化學分析方法介紹

隨著科技的進步，對於使用之材料的要求也就愈嚴苛，為增進材料的抗蝕和減少磨損，鍍面技術即被逐漸的使用和開發，同時亦被用於製造電子材料。為瞭解鍍層的性質和製程及要求之特性的關係，必須對其結構和化學組成進行分析，而本文就此些先進之分析方法作一介紹，其中所提及之分析器有X – ray，SEM, TEM, STEM, AES, ESCA, ISS, SIMS和RBS，並就不同分析技術的特性作一比較，以為進行此方面研究之人員的參考。