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篇名
半導體虛擬量測,邁向零缺陷製造
作者 王岫晨
中文摘要
在半導體製造邁入3奈米甚至更先進製程的今日,晶圓廠⾯臨全新挑戰。虛擬量測技術是半導體產業從經驗驅動轉向數據驅動的⾥程碑。它不僅解決了實體量測的瓶頸,更為晶圓廠提供了製程透明度。
一片晶圓的生產週期長達數月,需經過上千道複雜工序。
起訖頁 50-54
刊名 CTIMES:零組件雜誌  
期數 202603 (412期)
出版單位 CTIMES(遠播資訊股份有限公司)
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