雷射干涉儀實現線型馬達平台位移即時補償回授控制

隨著晶圓尺寸的逐漸增大，對高精度、大範圍運動控制的需求也顯著提升。本文說明透過雷射干涉儀選用裝設有內建增量式光學尺的商用線型馬達移動平台，搭配驅動控制器進行定位精度的分析與比較，干涉儀所量測到的位移數據將回授到驅動控制器進行即時回饋補償，以確保每次平台移動到定位時的精準度，以驗證其性能優勢。