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智動化雜誌
202410 (107期)
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篇名
晶圓檢測:高解析度全域快門相機提升晶圓缺陷檢測效率
作者
兆鎂新 (The Imaging Source)
中文摘要
在半導體製造行業中,晶圓的缺陷檢測是確保產品品質的關鍵環節。晶圓缺陷檢測的精確性直接影響到產品的質量和生產效率。
本文將詳細介紹DFK38UX304相機在該應用案例中的表現,並探討其如何提升檢測效率和準確性。
起訖頁
53-56
刊名
智動化雜誌
期數
202410 (107期)
出版單位
CTIMES(遠播資訊股份有限公司)
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