半導體製程良率提升關鍵──精準溫控

半導體元件已成為現代電子科技應用的核心，小至日常用的手機、個人電腦、資通訊、各種消費性電子產品，大至工業設備、製造機械、或是交通運輸領域的汽車與鐵路，甚至國防太空科技等，皆與半導體密不可分。隨著人工智慧（AI）、5G、物聯網等新興技術飛速發展，半導體的需求更是無處不在。