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智動化雜誌
202211 (86期)
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篇名
機器視覺發揮檢測效力大幅降低無塵室受污染機率
作者
兆鎂新 (The Imaging Source)
中文摘要
晶圓半導體產業工序複雜,而在製程中必須嚴密監控且無塵的工作環境中進行,運用機器視覺系統的方式進行檢測,足以大幅降低無塵室受污染的機率,同時讓檢測過程更有效率。
起訖頁
56-58
刊名
智動化雜誌
期數
202211 (86期)
出版單位
CTIMES(遠播資訊股份有限公司)
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