未來產品將朝向小型化、薄型化等趨勢發展,被動元件之尺寸也朝向01005之超小型元件發展,由於傳統被動元件體積較大,配合適當導電體,可採用滾鍍方式進行金屬沉積,但隨著被動元件變小,傳統滾鍍製程無法將小型化被動元件有效分離,而使被動元件互相堆疊,導致電鍍金屬無法均勻沉積在端電極上,故本研究將開發高分散性超小型元件電鍍技術,藉由數位模擬進行電鍍流場設計,採用Comsol Multiphysics作為分析流場變化的模擬軟體,所建立的物理場則是選用紊流模式中的k-ε模型,採用對稱型流道設計可有效降低流場內部的渦流生成機率,獲得較好的裝置流線分佈均勻狀態並以對稱型且流道寬度16mm的形式為主要設計。本研究之高分散性超小型元件電鍍設備可進行5000顆被動元件之測試,其電鍍不良率可降為10%以下,且電鍍金屬厚度均勻度達2.91±0.8μm,滿足產業界對於被動元件電鍍之需求。 |