多重感測能力打開MEMS工業應用大門

MEMS是一種微機電系統，而MEMS感測器則是透過微機電的製程，將微型電路與機械結構整合於同一晶片上，來進行感測功能的一種元件。MEMS技術透過半導體的光刻、腐蝕、薄膜等製程，來實現毫米甚至微米等級的感測器尺寸。也正由於採用的是半導體製程技術，使得MEMS感測器可以大量生產，且良率也穩定，也可以達到壓低生產成本的目的。