模糊田口法於化學氣相沈積製程雙品質特性最適參數之研究

Applying the Fuzzy Taguchi Method for Optimum Parameters of Double-Quality Characteristics in the Chemical Vapor Deposition Process

要有效的進行品質改善的工作，實驗設計是不可或缺的工具，在繁雜的參數及參數水準中，尋找最佳參數組合的方法中，田口方法藉由直交表來進行實驗，確實是一種能以最少實驗次數且有效率的方法。但傳統的田口方法在製程上的應用，大都僅止於單一品質特性的最佳化，然而實務上的產品／製程往往可能需關注多個品質特性，且當多個品質特性之間具互相關聯影響時，就可能會導致一組參數組合對於目標參數A為最佳解時，但對於目標參數B並非是一良好的解。反之，當某組參數組合移動至以目標參數B為最佳解時，目標參數A卻成為一個非良好的解，故兩目標函數間將會有所犧牲。傳統上，大部分工程設計問題中參數的選擇通常是，分別針對每一品質特性各別找出最適參數組合，接著再訂出一組設計參數來進行實驗得到初步的結果，一旦結果不符合需求或不為最佳的參數組合時，就再修正參數組合，不斷的反覆進行直到滿意的結果出現為止，這種試誤的方法不但會造成時間和成本上的浪費，也會因為不同工程師的經驗判斷，而導致標準有所不同。因此，發展一套有效率的方法來解決具多個品質特性要求下求得最適參數組合的方法遂為本研究目的。本研究將透過田口實驗計畫配置實驗與計算實驗所得之S／N值，再藉模糊法對各目標水準建立模糊語意加以解模糊化，並結合灰關聯分析（GRA）發展出一套解決多重品質問題的演算法則，俾改善田口實驗設計法僅能解決單一品質特性之缺點。因此，在本文將以所建構的「模糊田口灰關聯」演算法則來進行面板TFT-LCD前端製程中彩色濾光片（Color Filter, CF）的化學氣相沈積（CVD, Chemical Vapor Deposition）製程中具多品質特性的品質改善。