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篇名
電接枝技術助益3D TSV製程
中文摘要
3D製程正持續發展,作為堆疊晶片之間的一種電子互連技術, 矽通孔(TSV)能為訊號提供比傳統焊線更短的傳輸路徑。此外,TSV還能實現更多的輸入/輸出(I/O)。TSV的直徑和縱橫比可以實現更高的密度,因此這項技術能用比打線接合更低的功耗來實現性能提升。對3 D 矽通孔來說, 金屬沉積製程有什麼作用和重要性?aveni執行長Bruno Morel表示,金屬沉積是成功的TSV性能的關鍵製程之一。
起訖頁 98-101
刊名 CTIMES:零組件雜誌  
期數 201607 (297期)
出版單位 CTIMES(遠播資訊股份有限公司)
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