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篇名
無線感測器網路簡化半導體製造作業
作者 Ross Yu (Ross Yu)Enriqus Acaeves (Enriqus Acaeves)
中文摘要
對於半導體晶圓片設備而言,優化正常執行時間及提高作業效率將導致生產量的增加。安裝必須是非破壞性的,適合現有的空間範圍,並且在金屬和混凝土結構中可靠地工作。在凌力爾特矽谷半導體晶圓片工廠裡,安裝了一個SmartMesh IP線網格網路以簡化製造作業--監視氣體鋼瓶使用情況,並把即時讀數轉發至工廠管理軟體。該資料可實現快速和準確的氣體使用量估測,確保及時進行氣體補給,從而減少停機時間和氣體的浪費。紀錄資料點並將其用於協助進行產能計畫。
起訖頁 114-115
關鍵詞 無線感測器晶圓氣體鋼瓶工廠管理軟體
刊名 智動化雜誌  
期數 201606 (15期)
出版單位 CTIMES(遠播資訊股份有限公司)
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