行動裝置與MEMS革命齊頭發展

表面聲聲波濾波器（SAW Filter，Surface Acoustic Wave Filter）對於手機的天線（收發）轉換開關而言，可說是個重要支柱。2005年，美國安捷倫（Agilent）科技推出了BAW（Bulk Acoustic Wave）濾波器，不僅足足節省了3／4的電路板空間，更為MEMS微機電（microelectro-mechanical systems）硬體開闢一條前往行動世界之路。BAW元件因不具有可移動的內部零件，與其他的MEMS元件是有所區隔的，但業界專家仍將它歸在MEMS類別，因為就製程而言，BAW採用了和MEMS類似的概念。