類神經網路於半導體平坦化製程預測監控功能之研究

近年來積體電路經晶片在我們的生活中佔有舉足輕重的地位，積體電路晶片已然成為電腦科技的基礎，同時也刺激了相關科技產業的發展，故積體電路的製程也成為目前最備受矚目的焦點。