台灣真空學會九十五年度年會壁報論文摘要

Improvements of Uniformity and Reliability for the Electron Emission of Carbon Nanotubes in High Vacuum Environment 斜向製鍍非均向性氟化鎂薄膜微結構與應力之研究 國產乾式真空幫浦使用於電漿輔助化學氣相沉積機台真空性能評估 透明導電膜薄氧化鋅摻雜氟化鎂的熱脫附行為 熱處理製程對CrOx/CrOy/Cr特性之影響 固態互補式電致色變元件之製作及特性分析 Effects of Rapid Thermal Annealing Atmospheres on the Microstructural Development of ZnS Thin Films by Chemical Bath Deposition 不同製程溫度與電漿功率對成長InN薄膜之影響 以脈衝式直流磁控濺鍍法製鍍二氧化矽之光學特性及沉積速率研究 Characterizations of Mn-doped ZnO Thin Film Grown by Pulsed Laser Deposition Preparation of Inverse Opal Structured Photonic Crystals with 3-D Ordered Template of Polystyrene Microsphere by Electrophoretic Self-Assembly Fabrication of MEA with Multilayer Structure of Microporous Layer and Catalyst Layer by Electrophoretic Deposition and Magnetron Sputtering Techniques for PEM Fuel Cells 等效折射率在結構多層膜（Structural Film）上的應用 以不同工作氣體進行離子輔助熱蒸鍍MgF2薄膜之XPS分析研究 X光電子光能譜研究二氧化鈦摻鍍矽或二氧化矽薄膜 以相移式干涉儀測量薄膜線膨脹係數 193 nm深紫外光之抗反射膜研究 薄膜式光學低通濾波器 氧化鎂鋅紫外光偵檢器之製作及特性研究 成長高品質單壁奈米碳管垂直陣列於藍寶石及石英基板 室溫下使用離子束濺鍍系統鍍製氮化鋁薄膜之研究 硒化鋅薄膜能隙之模擬研究 高透光性氧化鋅薄膜之製備 熱處理參數對金屬靶製備氧化銦鋅薄膜性質之影響 Investigation of optical mechanisms of silicon nanoclusters embedded in silicon nitride 表面電漿元件之近場光學研究 Study of the Gas Desorption Phenomena for Ti-Zr-V NEG Coated Aluminum Chamber 具膜厚補償效益之新型光學監控法 利用鍍膜技術製作3D光子晶體結構 溶膠－凝膠法製備矽酸鋅奈米粉體之特性 溶液化學法合成二氧化錫（SnO2）奈米粉體之特性 離子束濺鍍製鍍氮化矽薄膜與其光學性質之研究 氣相冷凝法成長ZnO: In奈米柱 Deposition of TaN-Ag and TaN-Cu Nanocomposite Thin Films a Hybrid Process 離子感測場效電品體應用於積體化鈣離子量測電路之分析與研究 葡萄糖生醫感測器之研製與時漂、遲滯效應的研究 漸層氮化鈦薄膜製備及其微結構與表面形貌之研究 (NH4)2S Passivation on GaAs MOSCAP Using ALD Al2O3 Gate Dielectrics Al2O3 High-k Dielectric Films Grown by Atomic Layer Deposition on Ge Substrate Effects of N2 Flow and Substrate Temperature on the Microstructure and Morphology of InN Films Produced by Reactive Magnetron Sputtering TiO2與SiO2緩衝層對GZO透明導電薄膜之光電性質研究 高紫外光對可見光拒斥比之氮化鋁鎵／氮化鎵系列金屬／絕緣層／半導體光檢測器 光釋放能譜臨場監控反應性濺鍍氧化鈦薄膜之特性分析 以真空容積系統量測Mg2Ni/Ag合金之儲氫特性研究 超微奈米催化晶種技術之開發與應用研究 Process Flow Impact on the Characteristics of Strained-Si nMOSFETs The Variation Etching Rate of Si1-xGex by Inductively Coupled Plasmas CF4/Ar and Cl2/Ar Mixed-gas A Novel Method for the Formation of Ladder-like ZnO Nanowires ZnO MSM Photodetectors with Ru Contact Electrodes 使用電漿表面改質技術製作燃料電池碳電極及其特性研究 以射頻磁控濺鍍法製備鋰錳氧化物陰極薄膜及其表面改質之研究 全固態鋰離子薄膜電池（c-LiMn2O4/LiPON/SnO2）之研究 磁控濺鍍磷酸鋰鐵薄膜於鈦底層之研究