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篇名
Fabrication of SiGe Multi-Doped Channel MESFETs
作者 王子睿羅培倫吳三連張守進
英文摘要
Using strained SiGe channel can improve the crucial p-type FETs performance parameters because of the high hole mobility. In our previous study, p-type SiGe Single-Doped Channel MESFETs (SDC-FETs) have been fabricated. However, the transconductance of SDC-FETs is reduced drastically with the increasing forward gate bias. In this paper, p-type SiGe Multi-Doped Channel NIESFETs (NIDC-FETs) are successfully fabricated and compared with SDC-FETs.
起訖頁 34-36
刊名 真空科技  
期數 200512 (18:3期)
出版單位 台灣真空學會(原:中華民國真空科技學會)
該期刊-上一篇 The Effect of Sb in InGaAs(N)(Sb) Multiple Quantum Wells
該期刊-下一篇 A Low Leakage Current in SiGe metro-junction FET Using by ICP Dry Etching Process
 

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