得獎作品論文摘要(91年)

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篇名	得獎作品論文摘要(91年)
中文摘要	高密度電漿蝕刻應用於石英光波導製程之研究／蔣承忠、洪瑞華、武東星利用新無毒之無電極電鍍於氮化鈦及氮化鉭矽成長奈米級之銅晶種層／劉如熹、尤志州、蔡明蒔、胡淑芬、李盈壕、呂志鵬真空電子束蒸鍍各種接觸電極之研究及其紫外光檢測器之應用／周宜德、陳進祥、張守進、蘇炎坤、陳珀璋、黃柏仁、洪洪、王世銘磁控濺鍍製程參數及快速退火處理對鋰錳氧（LixMn2O4）薄膜之影響／邱國峰、蕭炫海、陳錦山、林新智微量錳摻雜劑對硫化鋅粉體於機械化學合成反應之影響／駱榮富、魏民傑、林彥谷
起訖頁	27-31
刊名	真空科技
期數	200306 (16:1期)
出版單位	台灣真空學會（原：中華民國真空科技學會）
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