半導體製程氣體高精準供給技術之相關研究

今後的半導體VLSI（超大型積體電路）會以相當接近理論極限來設計，以提昇性能。半導體VLSI的尺寸微小化正面臨以100nm以下的奈米技術來量產、並朝向品質必須完全一致的生產技術的時代。再者，對應網路的高性能LSI，針對個人消費者的用途，應用於最合適的產品上，且如同行動電話、數位相機般快速迎合消費者的喜愛變化。在資訊家電方面，將生產方式轉變為少量多樣、小規模生產線的方式。