表面聲波共振器之耦合參數萃取

本研究在鉭酸鋰（36°Y-XLiTaO3）壓電基板上研製共振頻率為64.09MHz之單電極表面聲波共振器，利用網路分析儀量測由25到100MHz間元件之頻率響應，進一步地利用耦合定理（coupled-mode theory）配合KK定理（Kramers-Kronig relations）萃取壓電基板材料之等效速度、機電耦合係數及反射係數等參數。