表面聲波共振器之等效電路參數萃取

此研究以KK定理（Kramers-Kronig relations）萃取單電極與雙電極表面聲波共振器的等效電路參數。利用半導體製程技術製作表面聲波共振器，使用網路分析儀量測元件之頻率響應，進一步以KK定理萃取表面聲波元件中因製程或量測所造成之阻抗與電容效應等參數。