寬頻顯微光譜儀開發及校正

Developing A Broadband Microspectrophotometer and Its Calibration

隨著微奈米光學科技之發展，各種微奈米元件或薄膜被開發出來，研究人員常面臨容易設計並製作，而卻無法微觀檢測的窘境當中。微奈米光學元件的光學特性常與材質選擇、結構形狀及尺寸大小有相關性，以一般顯微鏡僅有影像定性分析並無光譜定量資訊，亦無法進行偏振相關特性之定量量測功能。顯微光譜儀可用於微奈米元件之量測應用，然目前大多由美國、德國、日本以及韓國所掌握，不僅設備單價昂貴，且不具備偏振功能，其量測寬頻也常受限於可見光波段。因此，目前缺乏一個通用具偏振解析以及寬頻顯微光譜量測儀器平台，本研究開發寬頻顯微光譜儀開發及校正。本套系統將具備400 nm－700 nm之量測頻寬，且具備偏振解析功能。 Commercial spectroscopic ellipsometer and polarimeter cannot characterize the properties of the micro-nano structures because of the poor resolution and lower magnification. In this study, we propose to combine the microscope and microspectrophotometer(MSP) to measure the optical polarization in ultra-broadband wavelength range(400 nm－1700 nm) . We developed a broadband MSP. This MSP can measure characterization for micronano structures in the range of 400 nm－1700 nm. It will be an advance instrument for frontier researches such as chiral metamaterials, plasmonics, micro polarization optics and bio optics.