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篇名
真空儀器科技研究發展
並列篇名
Development of Instrumental Vacuum Technology in ITRC
作者 蘇嫈雰
中文摘要
適值國家實驗研究院儀器科技研究中心「科儀新知」發行第200期紀念專刊,謹以本文回顧儀科中心於自主化關鍵真空儀器科技之研發歷程並展望未來方向。 On the eve of the 200th instruments today of ITRC, NARL, we would like to review the accomplishment on vacuum instrument, followed by the introduction to future direction in vacuum technology of ITRC, NARL.
起訖頁 108-118
刊名 科儀新知  
期數 201409 (200期)
出版單位 財團法人國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心
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