使用於氣體感測器之晶圓級陣列探針點測機台開發

本系統機台開發計畫為整合本中心的氣體感測量測系統開發與製作（含自動光學量檢測技術及真空腔與供氣系統技術）、量測中心的氣體濃度驗證系統與量測不確定度評估、清華大學的雜訊抑制材料與測試模組開發，及晶電公司的氣體感測器技術開發與測試平台設計，聯合向中部科學園區管理局申請核准通過之設備開發計畫。