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篇名
工業電漿原理及應用:從表面改質、環境保護到能源開發
並列篇名
Principles and Applications of Industrial Plasma: From Surface Modification and Environmental Protection to Energy Development
作者 施姵兪徐佩君林啓明劉凡瑋
中文摘要
電漿作為物質的第四態,擁有獨特的物理與化學特性,在工業製造、環境及能源領域有著廣泛應用。本文將探討電漿技術在表面改質、環境保護與能源開發上的應用,包括電漿在半導體業的表面改質技術、低溫電漿在空氣與水污染治理中的角色、電漿輔助廢棄物處理技術,以及核融合技術。透過介紹這些技術的原理與應用前景,本文將探討電漿技術在未來永續發展中的潛力與挑戰。
英文摘要
Plasma, known as the fourth state of matter, possesses unique physical and chemical properties, leading to its wide-ranging applications in industrial manufacturing, environmental protection, and energy development. This article explores the applications of plasma technology in surface modification, environmental protection, and energy development, including plasma-based surface modification techniques in the semiconductor industry, the role of low-temperature plasma in air and water pollution control, plasma-assisted waste treatment technologies, and nuclear technology. By introducing the principles and future prospects of these technologies, this article discusses the potential and challenges of plasma technology in achieving sustainable development.
起訖頁 6-13
刊名 真空科技  
期數 202503 (38:1期)
出版單位 台灣真空學會(原:中華民國真空科技學會)
該期刊-下一篇 鋰離子電池關鍵金屬回收再生技術之現況與未來
 

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