太空級CMOS影像感測器B1帶通濾光鏡之研究

本研究以離子輔助電子槍蒸鍍系統，製鍍太空級CMOS影像感測器B1帶通濾光鏡，並進行太空模擬環境測試，探討薄膜物理與機械性質之變化。實驗中使用Macleod薄膜光學軟體設計膜堆，其膜層為高低折射率材料堆疊（Ta2O5/SiO2），並利用離子輔助蒸鍍製鍍90層之帶通濾光鏡，光學規格在波長350-1100 nm工作範圍內，通帶450-520 nm大於70%，其餘為止帶穿透率小於2%。結果顯示，帶通濾光鏡平均穿透率為90%以上，經進行附著性、表面粗糙度等特性分析，另模擬太空環境針對輻射損傷（Co60射線35 krad、1 Mrad）、熱循環及溼度等影響進行測試，符合ISO 9211規範。