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真空科技
200610 (19:1期)
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篇名
混成碳管之感測性質
作者
劉維人
、
林鴻明
、
魏碧玉
中文摘要
大部分的金屬氧化物半導體在300℃以上被用來偵測一些有毒或易燃氣體。然而,在此高溫下操作並不符合材料在實際應用上的經濟效益。為了解決這個問題,許多研究試著去開發新的金屬氧化物半導體感測材料,使其能夠在更低的溫度下進行操作。最近幾年,由金屬氧化物半導體和奈米碳管所組成的氣體感測材料被開發出來,其具有在較低溫度進行氣體感測的特性。本文將針對於低溫下氣體感測之金屬氧化物半導體的發展進行概述,並且說明兩種混成碳管系統(奈米碳管/二氧化錫與奈米碳管/二氧化鈦)在較低溫度下氣體感測之可能性。
起訖頁
41-46
關鍵詞
金屬氧化物半導體
、
混成系統
、
奈米碳管
、
二氧化錫
、
二氧化鈦
刊名
真空科技
期數
200610 (19:1期)
出版單位
台灣真空學會(原:中華民國真空科技學會)
該期刊-上一篇
Amorphous Diamond Solar Cell
該期刊-下一篇
以奈米金懸浮液製備導電薄膜之研究
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