矽奈米簇集矽氧化薄膜

利用新穎的雷射輔助化學氣相沉積系統沉積矽奈米簇集嵌入矽氧化薄膜，所成長的薄膜未經熱處理可見到光激發光的現象。由實驗數據推論量子侷限效應是矽奈米簇集嵌入矽氧化物基材主要的發光機制。