ASML與imec合建微影實驗室進入High-NA EUV微影時代

在迎來高數值孔徑極紫外光（high-NA EUV）微影時代之際，比利時微電子研究中心（imec）運算技術及系統／運算系統微縮研究計畫的資深副總裁（SVP）Steven Scheer探討imec與艾司摩爾（ASML）合建的High-NA EUV微影實驗室對半導體業的重要性。