採用CMOS相容製程可望進入12吋晶圓廠最新超導量子位元研究成功導入CMOS製程

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篇名	採用CMOS相容製程可望進入12吋晶圓廠最新超導量子位元研究成功導入CMOS製程
作者	Jeroen Verjauw (Jeroen Verjauw)、Tsvetan Ivanov (Tsvetan Ivanov)、Anton Potočnik (Anton Potočnik)、Danny Wan (Danny Wan)、Kristiaan De Greve (Kristiaan De Greve)
中文摘要	imec研究團隊成功實現>100μs的相干時間（coherence time），以及99.94%的量子閘保真度（gate fidelity）。首開先例採用CMOS相容製程，未來可望進入12吋晶圓廠，實現高品質的量子電路整合。
起訖頁	14-17
刊名	CTIMES：零組件雜誌
期數	202211 (372期)
出版單位	CTIMES（遠播資訊股份有限公司）
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