微振動對於半導體廠的影響及微振等級介紹

台灣半導體已進入18吋晶圓的量產規模，半導體晶圓廠也在各大科學園區到處林立，在最講究精密製程的半導體產業，廠房對於精密程度的要求不言可喻，也都達到了奈米需求的等級，因此在各個製程設備上，都有微振動的等級要求規範，然而在各個科學園區，因為台灣地形跟地質的關係，也都會遭遇微振動的影響，包括半導體製程的設備，樓板的振動以及工作環境的振動等等，因此如何降低微振動就顯得非常重要，否則在許多精密的製程所擁有的高端設備，良率將受到極大的影響，產品的精密度也會相當受限，本文將簡單的介紹微振動對半導體廠的影響以及微振等級如何做分級。