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篇名
延續後段製程微縮,先進導線採用石墨烯與金屬的異質結構
作者 Swati Achra (Swati Achra)Inge Asselberghs (Inge Asselberghs)Zsolt Tokei (Zsolt Tokei)
中文摘要
由石墨烯和金屬構成的異質結構有望成為1奈米以下後段製程技術的發展關鍵,本文介紹其中兩種異質整合方法,分別是具備石墨烯覆蓋層的金屬導線,以及摻雜石墨烯和金屬交替層的堆疊元件。
起訖頁 14-17
刊名 CTIMES:零組件雜誌  
期數 202108 (357期)
出版單位 CTIMES(遠播資訊股份有限公司)
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