半導體製造設備MTBF量測的不確定性與應用

The Application and Uncertainty Measurement of MTBF on Semiconductor Manufacturing Equipment

筆者曾撰文探討半導體製造設備的可靠度、可使用度和維修度（RAM）的議題，並刊載於品質月刊第49卷10期，題目為『RAM在半導體製造設備管理的應用』，該篇文章的主要目的和內容在說明SEMI-E10標準的系統架構、六大設備狀態的定義與應用、設備狀態資料的收集機制、以及數學計算模型與績效管理指標。在諸多管理指標當中，企業最常以平均故障間隔時間（MTBFu或MTBFp）、平均修復時間（MTTR）、可供使用率（Availability）和利用率（Utilization）等來衡量組織內部績效，很顯然地這些指標在組織設備硬體、生產活動和維修活動的管理扮演著非常重要的角色。