RAM在半導體製造設備管理的應用

The Application of RAM on Semiconductor Manufacturing Equipment Management

日前拜讀中華民國品質學會102年7月號49卷7期，由劉觀生先生所撰寫的”RAMS的市場溝通與應用領域介紹”一文，喚起筆者於2004年擔任製造部資深經理職務時，以SEMI E10-96（RAM）為理論基礎，主導開發的一套設備管理資訊系統，想藉這個機會將整個專案的執行過程和心得與讀者分享。就SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）組織而言，其建置E10標準的動機，是想在半導體製造環境下，提供衡量設備RAM的標準，建立設備製造商和使用者之間的溝通平台。雖然如此，該標準對設備使用者而言，亦是非常務實的設備績效管理工具。