晶圓廠使用隔減震補強試驗研究

高科技廠房對於微振動量要求嚴格，標準型晶圓廠使用極厚重之樓版以減少垂直微振量，如此對於無塵室之貴重設備而言，將造成較大之破壞潛勢。再者由於台灣地區土地取得不易，因而發展出疊層式晶圓廠，形成多層軟層結構。本研究分別模擬疊層型晶圓廠房與標準型晶圓廠房進行單側向力振動台試驗，並評估隔、減震元件對結構微振動量之影響。試驗結果顯示非線性阻尼器可提高結構耐震性能並降低地震力反應，亦可改善軟層結構；滾動隔震支承於大地震下可有效控制加速度之傳遞，然而為了控制位移而加裝線性黏性阻尼器，須考慮適當之阻尼常數，才能得到同時對位移及加速度折減之功效；另外，經過滾動支承之傳遞後最大微振量發生在4Hz以下，而機具儀器設備主要為高頻振動，且裝設液態黏性阻尼器之後可有效控制低頻微振動量。