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篇名
應用於精密光學元件產線之智慧機台開發
作者 劉明生
中文摘要
精密光學系統由精密光學元件為組成核心,較大口徑高精度光學系統,例如半導體曝光機系統、太空遙測系統以及天文系統等,所需的光學元件口徑以及規格要求更高,然而製造高精度較大口徑光學元件所需設備多由國外進口,所需成本與後續維護所費不貲,且無法將關鍵核心技術在地深耕;因此,在維持元件精度與品質的前提,自主研製光學加工與檢測儀器及發展智慧製造技術是必須深耕的領域。
起訖頁 1-4
刊名 儀科中心簡訊  
期數 201806 (147期)
出版單位 財團法人國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心
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