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篇名
運用EtherCAT技術提升IC包裝設備效率
作者 謝淳鉅
中文摘要
為了因應更高速、高效能的晶片技術,半導體製程的線寬技術不斷演進到奈米等級,因此必須提供單位時間內更大量的產出與較短的生產週期。在半導體後端製程中,將多個製程整合成為單一機台,簡化製程產線的機台種類以大幅縮短製程的週期。在有限的空間內,機台的體積並未因整合的特性而被允許增加,所以控制系統的配置是一個必須考量的重點,不僅會影響現場佈線的時間與成本,更會影響後續的維護工作。
起訖頁 167-170
關鍵詞 EtherCATIC包裝分散式運動控制龍門控制
刊名 智動化雜誌  
期數 201902 (2019年鑑期)
出版單位 CTIMES(遠播資訊股份有限公司)
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