三軸壓電致動平台之智慧型精密運動控制

本研究之目的是發展以個人電腦為控制核心，利用一個非對稱型函數連結放射狀基底函數網路（Functional Link Radial Basis Function Networkwith Asymmetric Membership Function, FLRBFN-AMF）計算力控制系統來控制三維度之壓電奈米定位平台（Piezo-Flexural Nanopositioning Stage, PFNS）。首先提出壓電奈米定位平台之動態數學模型並加以說明，此數學模型所描述之總集不確定項，包括等效磁滯摩擦力在內，接著提出一個採用輔助控制器之計算力控制系統來追隨參考輪廓以提高穩態響應。由於動態壓電奈米定位平台是非線性且時變，當參數改變時計算力控制系統之性能將會受到影響，因此，發展出一非對稱型函數連結放射狀基底函數網路計算力控制系統來估測非線性函數，包含壓電奈米位移平台的動態總集不確定項，以提高追隨多樣的參考軌跡之性能。