某半導體廠RCA清洗設備之氫氟酸緩衝槽爆開外洩事件

94年10月中旬，台灣北部某半導體廠工程師於RCA半自動晶圓清洗工作台之故障排除工作時，其氫氟酸緩衝槽 (buffer tank) 突然爆裂造成現場巡檢工程師頭臉部及身體多處被氫氟酸噴濺，該名員工立即跑至緊急沖淋設備使用大量清水緊急沖淋十分鐘左右後，呼叫廠內同事協助使用大量葡萄酸鈣塗抹傷部，並且叫救護車送醫治療。